特許
J-GLOBAL ID：201103000833553864
研磨装置及び研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中林 幹雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-346335
公開番号（公開出願番号）：特開2001-162518
特許番号：特許第4023765号
出願日： 1999年12月06日
公開日（公表日）： 2001年06月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられるとともに、上面側から下面側に貫通する供給孔が複数箇所に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能な少なくとも1枚のキャリヤと、前記上定盤の上方に設けられるとともに、内部にスラリーが充填され、かつ、上下方向の位置の調整が可能な可動スラリーリングと、該可動スラリーリングと前記上定盤の各供給孔との間を連結し、可動スラリーリング内のスラリーを各供給孔を介して上定盤と下定盤との間に導く管部材とを具えたことを特徴とする研磨装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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