ウエーハキャリア

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (9件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 松冨豊 , 西和哉 , 村山靖彦 , 大場充
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019132
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223554
特許番号：特許第4305988号
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】開閉自在な蓋体を有し、内部にウエーハを収納するウエーハキャリアであって、前記ウエーハキャリア内に設けられ、弾性変形可能な弾性部材と該弾性部材が前記ウエーハに当接して弾性変形したときに電気的に導通する導通部とを有するウエーハ検知手段と、外部に対して電磁波を送受信する送受信部を有すると共に前記電磁波による駆動用電力を前記ウエーハ検知手段に供給する一方、該ウエーハ検知手段の検知結果を外部に送信するキャリア側制御装置とを備え、前記蓋体が閉じている際にも前記キャリア外から前記ウエーハの存在を検知できることを特徴とするウエーハキャリア。

IPC (1件)：