特許

J-GLOBAL ID：201103001040259325

ヨーレートセンサ

発明者： ラインハルト ノイル ,  ヨハネス クラッセン ,  トルステン オームス ,  ブルクハルト クールマン ,  アクセル フランケ ,  オリヴァー コーン ,  ダニエル クリストフ マイゼル ,  イェルク ハウアー ,  ウド-マルティン ゴメス ,  ケルステン ケーア
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (5件)： 矢野 敏雄 ,  杉本 博司 ,  高橋 佳大 ,  二宮 浩康 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-533522
公開番号（公開出願番号）：特表2011-504585
出願日： 2008年10月02日
公開日（公表日）： 2011年02月10日
要約：

ヨーレートセンサにおいて、基板と、多数の可動の部分構造体とが設けられており、該部分構造体が、基板の表面の上に配置されており、可動の部分構造体が、1つの共通の、特に中央のばねエレメントに連結されており、可動の部分構造体を励振させて、基板の表面に対して平行な平面内でのカップリングされた振動を生ぜしめるための手段が設けられており、可動の部分構造体が、コリオリ素子を有しており、該コリオリ素子の、コリオリ力によって生ぜしめられた変位を検出するための手段が設けられており、第1のコリオリ素子が、第1の軸回りの回転角速度を検出するために設けられており、第2のコリオリ素子が、第2の軸回りの回転角速度を検出するために設けられており、第2の軸が、第1の軸に対して特に直角に向けられていることを特徴とするヨーレートセンサ。

請求項（抜粋）：

ヨーレートセンサにおいて、 -基板(50)と、多数の可動の部分構造体(51)とが設けられており、該部分構造体(51)が、基板(50)の表面の上に配置されており、 -可動の部分構造体(51)が、1つの共通のばねエレメント(101,501,1501)、特に中央のばねエレメントに連結されており、 -可動の部分構造体(51)を励振させて、基板(50)の表面に対して平行な平面内でのカップリングされた振動を生ぜしめるための手段(56,1504)が設けられており、 -可動の部分構造体(51)が、コリオリ素子(58)を有しており、 -該コリオリ素子(58)の、コリオリ力によって生ぜしめられた変位を検出するための手段(73,74,83,94)が設けられており、 -第1のコリオリ素子(58)が、第1の軸回りの回転角速度を検出するために設けられており、 -第2のコリオリ素子(58)が、第2の軸回りの回転角速度を検出するために設けられており、 -第2の軸が、第1の軸に対して平行ではなく、特に直角に向けられている、 ことを特徴とするヨーレートセンサ。

IPC (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  B81B 3/00 ,  H01L 29/84

FI (4件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84 Z

Fターム (26件)：

2F105BB20 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  3C081BA07 ,  3C081BA44 ,  3C081BA46 ,  3C081BA47 ,  3C081BA48 ,  3C081BA75 ,  3C081BA76 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA02 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• コンバインドセンサとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-258652   出願人：株式会社日立製作所
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-351552   出願人：株式会社村田製作所
• 慣性センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-350832   出願人：株式会社日立製作所