特許
J-GLOBAL ID：200903084177177258

コンバインドセンサとその製造方法

発明者：
明石 照久

明石 照久 について

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岡田 亮二

岡田 亮二 について

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林 雅秀

林 雅秀 について

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鈴木 健悟

鈴木 健悟 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-258652
公開番号（公開出願番号）：特開2007-071677
出願日： 2005年09月07日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：
【課題】角速度と2軸の加速度とを同時検出可能な振動体を用いたセンサ構造を提供する。振動体の加工誤差に起因する個体差を許容するセンサ構造を提供する。耐衝撃性の高いセンサ構造を提供する。 【解決手段】振動可能な状態で基板上に支持された4個のおよそ同形状の振動体からなる音叉振動する振動ユニットを2組設け、その振動ユニットの振動軸が互いに直交するように振動体を配置する。各振動体は1対の検出手段および振動の周波数を調整する調整手段を備え、各振動体が相互干渉無いように各々独立に支持された支持構造を備えたコンバインドセンサである。 【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基板の水平面内2軸に印加される加速度と前記2軸に対して垂直な軸周りに印加される角速度とを検出するコンバインドセンサにおいて、 前記基板の面内または面外に振動可能な状態で基板上に支持されたすくなくとも4個の振動体を有し、 前記4個の振動体の各振動体は 振動方向が互いに交差する振動ユニットを少なくとも2つ有するとともに、 前記4個の振動体で各振動体の振動方向と直交する方向に対向して配置された1対の検出手段を有し、
IPC (5件)：
G01P 9/04 ,  G01C 19/56 ,  G01P 15/18 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84
FI (5件)：
G01P9/04 ,  G01C19/56 ,  G01P15/00 K ,  G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z
Fターム (19件)：
2F105BB04 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA25 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA11 ,  4M112DA18 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-230860   出願人：アイシン精機株式会社
  • 慣性レートセンサー
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-026017   出願人：ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド
審査官引用 (5件)
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