特許
J-GLOBAL ID：201103001065598981
導電性ボールの搭載装置および搭載方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-069773
公開番号（公開出願番号）：特開2000-269258
特許番号：特許第3565079号
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ウェハに形成された複数の電子部品の電極にピックアップヘッドに着脱・交換自在に装着される吸着ツールによって導電性ボールを搭載する導電性ボールの搭載装置であって、前記ウェハ上の導電性ボール搭載エリアを複数の区画に分割した各分割区画に個別に対応した吸着ツールと、これらの吸着ツールの吸着面に前記電子部品の配列に対応して形成され前記電極に対応する位置に導電性ボールを真空吸着する吸着孔が設けられた吸着部と、これらの吸着ツールが載置されピックアップヘッドが吸着ツールの着脱交換を行う吸着ツール載置部とを備えたことを特徴とする導電性ボールの搭載装置。
IPC (4件)：
H01L 21/60
, B25J 15/04
, B25J 15/06
, H05K 3/34
H01L 21/92 604 H
, B25J 15/04 A
, B25J 15/06 K
, H05K 3/34 505 A
