近視野光プローブ

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松下義治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-274734
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266656
特許番号：特許第4118476号
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料表面あるいは記録媒体に対向して配置され、基板に設けられた光の通路の先端部に近視野光を生成する微小開口を備えた近視野光プローブにおいて、前記試料表面あるいは前記記録媒体と対向する面は、前記試料表面あるいは前記記録媒体に対して略平行に設けられるとともに、前記微小開口に接する位置に一端を持ち、前記光の通路から離れる方向に延伸する熱除去部材を備え、前記熱除去部材は前記基板よりも熱伝導性の良い材質からなり、前記微小開口に発生した熱を除去することを特徴とする近視野光プローブ。

IPC (1件)：