特許
J-GLOBAL ID：200903029888694645

AFMカンチレバー及びその製造方法

発明者：
高山 美知雄

高山 美知雄 について


出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社

オリンパス光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-291273
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123155
出願日： 1996年10月15日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 探針部の磨耗が少なく測定寿命を向上させたAFMカンチレバー及びその製造方法を提供する。【解決手段】 支持部8より伸びた窒化シリコン膜製カンチレバー部7の自由端近傍に、該カンチレバー部7と一体的に形成された窒化シリコン膜製の探針部6を備えたAFMカンチレバーにおいて、窒化シリコン膜製の探針部6にのみ窒素,ヒ素等の不純物をイオン注入する。これにより、探針部6を構成している窒化シリコン膜の膜質が硬化し、探針部6の耐磨耗製が向上し、測定寿命が延びる。
請求項（抜粋）：
支持部より伸びた窒化シリコン膜製カンチレバー部の自由端近傍に、該カンチレバー部と一体的に形成された窒化シリコン膜製探針部を備えたAFMカンチレバーにおいて、前記窒化シリコン膜製探針部にのみ不純物がイオン注入されていることを特徴とするAFMカンチレバー。
IPC (3件)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01L 21/265
FI (3件)：
G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  H01L 21/265 W
引用特許：
審査官引用 (25件)
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