振動ジャイロ用振動子及びそれを用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-181236
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005664
特許番号：特許第3649090号
出願日： 2000年06月16日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一方主面に角速度信号を含む信号を出力する前記第一及び第二の検出電極が形成された第一の圧電体の他方主面と、一方主面に駆動電極が形成された第二の圧電体の他方主面とが、中間電極を介して貼り合わされてなり、前記第一の検出電極と、前記第二の検出電極との間には、前記第一の圧電体の厚みの60%乃至80%の深さの溝が設けられており、前記第一の圧電体の長手方向に沿う一方側面から前記溝までの距離と、他方側面から前記溝までの距離とが等しいことを特徴とする、振動ジャイロ用振動子。

IPC (5件)：