特許
J-GLOBAL ID：201103002883168492
チャックテーブルに保持された被加工物の計測装置およびレーザー加工機
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-177624
公開番号（公開出願番号）：特開2011-033383
出願日： 2009年07月30日
公開日（公表日）： 2011年02月17日
要約：
【課題】被加工物の上面高さを計測する計測装置および計測装置を装備したレーザー加工機を提供する。【解決手段】被加工物Wに向けて白色光を発光する白色光源61と、発光した光が有する各波長を回折する回折手段62と、回折された光の中央部を遮蔽して光を環状に形成するマスク手段63と、形成された環状の光の像をリレーするリレーレンズ64と、伝達された環状の光を集光して被加工物に照射する対物レンズ65と、マスク63手段とリレーレンズ64との間に配設され被加工物に照射された光の反射光を分光するビームスプリッター66と、分光された反射光における光軸を通る波長の反射光を通過させる光分別手段67と、通過した反射光を回折光に変換する回折格子68と、回折された回折光の波長を検出する波長検出手段69と、波長検出手段69からの波長信号に基いて被加工物Wの高さ位置を求める制御手段とを具備している。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
加工機に装備されるチャックテーブルに保持された被加工物の高さ位置を検出するチャックテーブルに保持された被加工物の計測装置において、
チャックテーブルに保持された被加工物に向けて白色光を発光する白色光源と、該白色光源が発光した光が有する各波長を回折する回折手段と、該回折手段によって回折された光の中央部を遮蔽して光を環状に形成するマスク手段と、該マスク手段によって形成された環状の光の像をリレーするリレーレンズと、該リレーレンズによって伝達された環状の光を集光してチャックテーブルに保持された被加工物に照射する対物レンズと、該マスク手段と該リレーレンズとの間に配設され被加工物に照射された光の反射光を分光するビームスプリッターと、該ビームスプリッターによって分光された反射光における光軸を通る波長の反射光を通過させる光分別手段と、該光分別手段を通過した反射光を回折光に変換する回折格子と、該回折格子によって回折された回折光の波長を検出する波長検出手段と、該波長検出手段からの波長信号に基いてチャックテーブルに保持された被加工物の高さ位置を求める制御手段と、を具備している、
ことを特徴とするチャックテーブルに保持された被加工物の計測装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B11/03 G
, B23K26/00 H
, B23K26/00 M
2F065AA24
, 2F065CC19
, 2F065FF04
, 2F065FF48
, 2F065FF67
, 2F065GG02
, 2F065GG07
, 2F065GG08
, 2F065GG24
, 2F065JJ03
, 2F065JJ16
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL20
, 2F065LL30
, 2F065LL42
, 2F065LL67
, 2F065PP12
, 4E068AE00
, 4E068CB02
, 4E068DA10
