特許
J-GLOBAL ID：201103003501578650

音響共振器とその製作方法

発明者：
リチャード・シー・ルービー

リチャード・シー・ルービー について

, 
ヨゲシュ デサイ

ヨゲシュ デサイ について

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ドナルド・アール・ブラドベリー

ドナルド・アール・ブラドベリー について


出願人/特許権者：
アバゴ・テクノロジーズ・ワイヤレス・アイピー(シンガポール)プライベート・リミテッド

アバゴ・テクノロジーズ・ワイヤレス・アイピー(シンガポール)プライベート・リミテッド について


代理人 (3件)： 古谷 聡 ,  溝部 孝彦 ,  西山 清春
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154956
公開番号（公開出願番号）：特開2000-069594
特許番号：特許第4113637号
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】上面を有する基板(101)上に音響共振器(20、40、110)を製作する方法であって、 (a)前記上面に窪み(102)を作るステップ、 (b)前記窪み(102)を犠牲材料(105)で充填するステップであって、前記充填された窪み(102)の上表面が、前記基板(101)の前記上面と同レベルであり、前記上表面が0.5μm未満の高さのRMS変動を有するようにするステップ、 (c)第1の電極(23、45、111)を前記上表面の上に堆積させるステップ、 (d)圧電材料の層(22、42、112)を前記第1の電極(23、45、111)の上に堆積させるステップ、 (e)第2の電極(21、44、113)を前記圧電材料の層(22、42、112)の上に堆積させるステップ、および (f)前記犠牲材料(105)を前記窪み(102)から除去するステップを含む、方法。
IPC (6件)：
H04R 17/10 ( 200 6.01) ,  G10K 9/122 ( 200 6.01) ,  H03H 3/08 ( 200 6.01) ,  H03H 9/17 ( 200 6.01) ,  H03H 9/25 ( 200 6.01) ,  H04R 31/00 ( 200 6.01)
FI (6件)：
H04R 17/10 ,  G10K 9/12 101 C ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/17 F ,  H03H 9/25 Z ,  H04R 31/00 Z
引用特許：
審査官引用 (2件)
引用文献：
審査官引用 (3件)

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