磁気ヘッドスライダー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野▲崎▼ 照夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-213110
公開番号（公開出願番号）：特開2001-043650
特許番号：特許第3704000号
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】記録素子と再生素子を備えた磁気ヘッドスライダーにおいて、前記磁気ヘッドスライダーの空気潤滑面は、外気遮断膜で被覆し、前記外気遮断膜全面には、連続膜に成る前に製膜操作を止めることにより形成した多数の島状DLC薄膜が分散して覆っており、前記外気遮断膜は珪素による単一元素により構成されるとともに、前記島状DLC薄膜に覆われていない部分の前記外気遮断膜は、自然酸化により二酸化珪素に変化していることを特徴とする磁気ヘッドスライダー。

IPC (4件)：