走査型プローブ顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西教圭一郎 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-298781
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116679
特許番号：特許第3219194号
出願日： 1999年10月20日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】探針と試料との距離に応じて共振周波数が変化する機械的共振部と、機械的共振部を共振させるとともに、機械的共振部の共振周波数の発振信号を出力する機械的発振手段と、機械的発振手段からの発振信号の高調波信号を生成する周波数逓倍回路、および周波数逓倍回路からの高調波信号の周波数の変化に応じて出力信号の信号レベルが変化する周波数/レベル変換回路を備える周波数検出装置と、周波数/レベル変換回路からの出力信号に応答して、機械的共振部が予め定める一定の共振周波数で振動するように探針と試料との距離を制御する位置制御機構とを含み、周波数/レベル変換回路は、水晶発振子または高安定圧電発振子を備える電圧制御発振回路を用いた位相同期ループ回路であり、周波数検出装置は、予め定める単一の高調波信号の周波数帯域のみが、周波数/レベル変換回路の変換可能な周波数帯域内に含まれるように、機械的発振手段からの発振信号の周波数を変換する周波数変換回路であって、局部発振器を有し、機械的発振手段からの発振信号を、局部発振器より発振される局部発振信号と混合することにより、周波数/レベル変換回路の変換可能な周波数帯域内の周波数に変換して周波数逓信回路に与える周波数変換回路を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 13/16 , G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 13/16 A , G01B 21/30 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

走査プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-123843 出願人：日本電子株式会社
絶対値エンコーダ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-295698 出願人：三菱電機株式会社
走査プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-043938 出願人：日本電子株式会社

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