特許
J-GLOBAL ID：201103005422378516
カーボンナノチューブのパターン形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 秀一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-210336
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035362
特許番号：特許第4063451号
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 カソード導体を形成する所定の金属パターンと、前記金属パターンから露出した露出部を、カーボンナノチューブとの被着力が前記金属よりも弱い材料からなる基板上に形成する工程と、
前記金属及び前記露出部にカーボンナノチューブを被着する工程と、
前記金属及び前記露出部に被着したカーボンナノチューブに粘着テープを貼付した後これを剥離させることにより前記露出部に被着したカーボンナノチューブを除去して、前記金属に被着したカーボンナノチューブによってエミッタを形成する工程とを備えて成ることを特徴とするカーボンナノチューブのパターン形成方法。
IPC (5件)：
H01J 9/02 ( 200 6.01)
, H01J 1/304 ( 200 6.01)
, H01J 29/04 ( 200 6.01)
, H01J 31/12 ( 200 6.01)
, C01B 31/02 ( 200 6.01)
H01J 9/02 B
, H01J 1/30 F
, H01J 29/04
, H01J 31/12 C
, C01B 31/02 101 F
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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