特許
J-GLOBAL ID：201103006184413053
ポジティブ型感光性ポリイミド前駆体およびこれを含む組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
八田 幹雄
, 野上 敦
, 奈良 泰男
, 齋藤 悦子
, 宇谷 勝幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-401122
公開番号（公開出願番号）：特開2002-284875
特許番号：特許第3773845号
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ポリアミク酸のカルボキシル基の水素原子の一部が酸により解離可能な作用基で置換されてなるポリアミク酸エステルであって、
下記化学式1で表わされる1種以上の繰り返し単位を含み、少なくとも一方の末端が反応性末端封鎖単量体(end-capping monomer)で終結されてなるポリアミク酸エステルと、
(式中、R1およびR2は、それぞれ独立して水素原子または酸により解離可能な作用基であり、Xは4価の芳香族または脂肪族有機基であり、Yは2価の芳香族または脂肪族有機基であり、mは1以上の整数であり、R1およびR2の少なくとも一方は酸により解離可能な作用基である。)
下記化学式6で表わされる1種以上の繰り返し単位を含み、少なくとも一方の末端が反応性末端封鎖単量体(end-capping monomer)で終結されてなる少なくとも一種のポリアミク酸と、が混合されてなるポリイミド前駆体混合物であって、
(式中、Xは4価の芳香族または脂肪族有機基であり、Yは2価の芳香族または脂肪族有機基であり、nは1以上の整数である。)
前記酸により解離可能な作用基は、-CHR3-O-R4基(R3は、水素原子、または炭素数1〜20の飽和炭化水素基、不飽和炭化水素基若しくは芳香族有機基で、その中に1つ以上のヘテロ原子を含むことができ、R4は、炭素数1〜20の飽和炭化水素基、不飽和炭化水素基または芳香族有機基で、その中にヘテロ原子を含むことができ、R3およびR4は互いに結合されて環化合物を形成することができる。)、t-ブチル基またはトリメチルシリル基であるポリイミド前駆体混合物。
IPC (6件)：
C08G 73/10 ( 200 6.01)
, C08L 79/08 ( 200 6.01)
, C08F 299/02 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
, G03F 7/075 ( 200 6.01)
, H01L 21/30 ( 200 6.01)
C08G 73/10
, C08L 79/08
, C08F 299/02
, G03F 7/039
, G03F 7/075
, H01L 21/30
