特許
J-GLOBAL ID：201103006213227426

描画用探針及びその製作方法

発明者：
石橋 雅義

石橋 雅義 について

, 
橋詰 富博

橋詰 富博 について

, 
梶山 博司

梶山 博司 について


出願人/特許権者：
株式会社ルネサステクノロジ

株式会社ルネサステクノロジ について


代理人 (2件)： ポレール特許業務法人 ,  小川 勝男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-241330
公開番号（公開出願番号）：特開2001-062791
特許番号：特許第3884887号
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 導電層と絶縁層の積層構造のばね部の両端部のそれぞれに探針先端部と保持部とを有し、 前記探針先端部は前記ばね部の一つの面に配置され、 前記保持部は前記探針先端部が配置された面の裏面に配置され、 前記探針先端部は前記ばね部の導電層に電気的に接続された導電部と、該導電部を覆うとともに周辺を支える絶縁部を有し、 前記導電部は膜状構造であるとともに、前記ばね部の面から離れるに従い細くなる構造をとり、もっとも細くなった部分は断面円形の柱状構造の一端に連結され、且つ、該柱状構造の自由端面は前記絶縁部から露出し、 たことを特徴とする走査プローブリソグラフィー描画用探針。
IPC (4件)：
B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  B81C 1/00 ( 200 6.01) ,  G01N 13/16 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)
FI (5件)：
B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G01N 13/16 C ,  H01L 21/30 502 D ,  H01L 21/30 541 Z
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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