特許
J-GLOBAL ID:201103006953378673

円筒状ターゲット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松浦 憲三
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-268437
公開番号(公開出願番号):特開2002-155356
特許番号:特許第4614037号
出願日: 2001年09月05日
公開日(公表日): 2002年05月31日
請求項(抜粋):
【請求項1】 円筒状のバッキングチューブの外周に中空円筒形状のターゲット材料が配置されるとともに、前記バッキングチューブと前記ターゲット材料の間に緩衝部材を介して前記バッキングチューブと前記ターゲット材料とが接合されており、前記緩衝部材として導電性フェルト又は導電性シートが用いられていることを特徴とする円筒状ターゲット。
IPC (1件):
C23C 14/34 ( 200 6.01)
FI (1件):
C23C 14/34 B
引用特許:
審査官引用 (4件)
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