特許

J-GLOBAL ID：201103008065937780

シャシ、ロータ及びケーシングを有する摩擦真空ポンプ並びにこの形式の摩擦真空ポンプを備えた装置

発明者： ラルフ アダミーツ ,  クリスティアン バイヤー ,  ギュンター シュッツ
出願人/特許権者： ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (5件)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-551160
特許番号：特許第4520636号
出願日： 1999年03月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 シャシ(5)、ステータ(3)及びロータ(4)と、シャシ(5)、ステータ(3)及びロータ(4)を1つのユニットにまとめる構成部分(63)と、ケーシング(19)とを有し、このケーシングはシャシ(5)に固定されていて、ステータ(3)及びロータ(4)を収容し、かつ排気すべき室のための接続部(36)を備えている形式の摩擦真空ポンプにおいて、摩擦真空ポンプが少なくとも部分的に、ロータ翼列及びステータ翼列を有するターボ分子真空ポンプとして構成されており、ステータが複数のステータリングを有しており、ポンプのケーシングの機能を果たすために、2つの構成エレメント(19;61;55)が設けられており、第1の内側の構成エレメント(61)は、シャシ(5)、ステータ(3)及びロータ(4)の相互配置及び保持のほかに、ステータリングの定心のためにも役立って、これらの構成部分とともに1つのユニットを形成しており、かつ第2の構成エレメントは、このユニットを少なくとも部分的に収容し、真空ポンプを外部に向かってシールし、かつ真空ポンプを排気すべき室に接続するのに役立つケーシング(19,55)であり、第1の構成エレメントが抗張ステーシステム(61)により形成されており、抗張ステーシステム(61)が、前記複数のステータリングを貫通して、ステータ(3)をシャシ(5)と結合することを特徴とする、シャシ、ステータ、ロータ及びケーシングを有している、摩擦真空ポンプ。

IPC (1件)：

F04D 19/04 ( 200 6.01)

FI (1件)：

F04D 19/04 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-223606   出願人：三菱重工業株式会社
• 分子吸引ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-169611   出願人：アルカテル・セイテ
• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-161689   出願人：ダイキン工業株式会社
• 多段ガス吸込装置用真空ポンプ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-324071   出願人：バルツェルス-プファイファー・ゲーエムベーハー