半導体装置のテスト方法及びシステム並びに記録媒体

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：加藤朝道
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-367492
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183430
特許番号：特許第3447638号
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体装置の所定の端子信号について、前記半導体装置の不良発生時から過去に遡った時点から前記不良発生時を含む期間の信号波形データを獲得する第1の工程と、前記獲得された信号波形データに基づき、前記半導体装置を被測定デバイスとしてテストする自動テスト装置で用いるテストパターンを生成し、その際、不良時のデータを正規のデータに変更してなるテストパターンを生成する第2の工程と、前記自動テスト装置において、前記生成されたテストパターンを用いて、前記半導体装置と同一製品をなす半導体装置を被測定デバイスとして、テストする第3の工程と、を含む、ことを特徴とする半導体装置のテスト方法。

IPC (4件)：