光学系において単方向のバンド幅を広げるための露光装置

発明者：
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-279645
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085319
特許番号：特許第3434247号
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光束を第1の集束レンズに発射するための光源と、フォトマスクの前に設置されて既定の一角度で回転し、前記第1の集束レンズからの光束を第2の集束レンズ系の後側焦点面へ回折させるための第1の光学格子と、及び前記第1の光学格子と同様のパターンを有し、前記第2の集束レンズ系からの光束を単方向のフィルタに回折させ、単方向のバンド幅を有した光束を形成してウェーハ表面に結像させるための第2の光学格子と、を備えていることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：