特許
J-GLOBAL ID：201103009645591861
パッケージ基板の分割方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-185993
公開番号（公開出願番号）：特開2011-040542
出願日： 2009年08月10日
公開日（公表日）： 2011年02月24日
要約：
【課題】反りのあるパッケージ基板を経済的に分割可能なパッケージ基板の分割方法を提供する。【解決手段】パッケージ基板2を保持する保持面を含み、パッケージ基板2の各パッケージに対応するように保持面に形成された複数の凹部56と、凹部56内にそれぞれ配設されて保持面から吸着部が突出する複数の蛇腹型吸着パッド24と、蛇腹型吸着パッド24に吸引作用を施す吸引源に連通された吸引路68,59と、切削ブレード40との接触を回避する保持面に形成された複数の逃げ溝22とを備え、保持面は少なくともゴムから形成されている固定治具20上にパッケージ基板2を載置する載置ステップと、吸引源を作動して固定治具20でパッケージ基板2を吸引保持する保持ステップと、固定治具20に保持されたパッケージ基板2を切削ブレード40で切削して個々のパッケージへと分割する分割ステップとを具備した。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
格子状に形成された複数の分割予定ラインによって区画された各領域にそれぞれパッケージが形成されたパッケージ基板を個々のパッケージへと分割するパッケージ基板の分割方法であって、
パッケージ基板を保持する保持面を含み、該パッケージ基板の各パッケージに対応するように該保持面に形成された複数の凹部と、該凹部内にそれぞれ配設されて該保持面から吸着部が突出する複数の蛇腹型吸着パッドと、該蛇腹型吸着パッドに吸引作用を施す吸引源に連通された吸引路と、切削ブレードとの接触を回避する該保持面に形成された複数の逃げ溝とを備え、該保持面は少なくともゴムから形成されている固定治具上にパッケージ基板を載置する載置ステップと、
該吸引源を作動して該固定治具でパッケージ基板を吸引保持する保持ステップと、
該固定治具に保持されたパッケージ基板を切削ブレードで切削して個々のパッケージへと分割する分割ステップと、
を具備したことを特徴とするパッケージ基板の分割方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/78 Q
, H01L23/12 501Z
