特許

J-GLOBAL ID：201103009708669033

高誘電体薄膜コンデンサ

発明者： 小原 直樹 ,  沢田 太助 ,  北川 雅俊 ,  上野山 雄
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-278684
公開番号（公開出願番号）：特開2001-102242
特許番号：特許第3362709号
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基体上の少なくとも片面に金属電極膜と高誘電体薄膜とを層状に積層する高誘電体薄膜コンデンサであって、前記高誘電体薄膜の形成温度の基体温度は400°Cを上限とし、かつ前記金属電極膜として少なくともAlとAl以外の金属元素の少なくとも2種類の金属の混合比の違いにより前記高誘電体薄膜の格子定数に整合した格子定数を有する金属合金膜を有することを特徴とする高誘電体薄膜コンデンサ。

IPC (3件)：

H01G 4/12 397 ,  H01G 4/015 ,  H01G 4/18

FI (3件)：

H01G 4/12 397 ,  H01G 4/24 301 E ,  H01G 4/24 331 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-062715
  
• 薄膜積層電極とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-094816   出願人：株式会社村田製作所
• 容量素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-264547   出願人：松下電子工業株式会社
• 半導体装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-043427   出願人：三菱電機株式会社