特許
J-GLOBAL ID：201103010718222388

シート貼付装置および貼付方法

発明者：
山口 弘一

山口 弘一 について

, 
青木 陽太

青木 陽太 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-075654
公開番号（公開出願番号）：特開2011-210854
出願日： 2010年03月29日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：
【課題】被着体に貼付してから切断した接着シートの切断縁領域の剥離を防止できるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】被着体Wの一方の面WAに接着シートSを貼付するシート貼付装置1は、被着体Wの一方の面WAに対向させて接着シートSを供給する供給手段5と、接着シートSを被着体Wの一方の面WAに押圧して貼付する押圧手段6と、貼付した接着シートSを被着体Wの外縁WCに沿って切断する切断手段7と、切断した接着シートSの切断縁領域を被着体Wに押圧する再プレス手段8とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被着体の一方の面に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、 前記被着体の一方の面に対向させて前記接着シートを供給する供給手段と、 前記接着シートを前記被着体の一方の面に押圧して貼付する押圧手段と、 前記貼付した接着シートを前記被着体の外縁に沿って切断する切断手段と、 前記切断した接着シートの切断縁領域を前記被着体に押圧する再プレス手段とを備えることを特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (13件)：
5F031CA02 ,  5F031HA58 ,  5F031HA78 ,  5F031JA01 ,  5F031JA35 ,  5F031LA07 ,  5F031LA08 ,  5F031LA15 ,  5F031MA02 ,  5F031MA34 ,  5F031MA37 ,  5F031PA20 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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