特許

J-GLOBAL ID：201103011081054156

形状測定装置

発明者： 伊藤 由佳 ,  藤澤 晴彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-101286
公開番号（公開出願番号）：特開2011-232101
出願日： 2010年04月26日
公開日（公表日）： 2011年11月17日
要約：

【課題】振動の影響による3次元形状の測定誤差を低減した形状測定装置を提供する。【解決手段】形状測定装置は、被測定物をライン光で照明して撮像するプローブと、プローブと被測定物とを相対移動させるリニアモータ17と、照明の状態と撮像の状態から被測定物の形状を測定する形状演算部34と、プローブの振れを検出する振れ検出部28とを備え、振れ検出部28に検出された振れに基づいて測定の補正を行うようになっている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被測定物をライン光で照明する照明部と、 前記照明部に照明された前記被測定物を撮像する撮像部と、 前記照明部と前記被測定物とを相対移動させる相対移動部と、 前記照明の状態と前記撮像の状態から前記被測定物の形状を測定する測定部と、 前記照明部および前記撮像部の少なくとも一方の振れを検出する振れ検出部と、 前記振れ検出部に検出された振れに基づいて前記測定の補正を行う補正部とを備えて構成されることを特徴とする形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (1件)：

G01B11/24 K

Fターム (36件)：

2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD14 ,  2F065EE06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065FF65 ,  2F065FF70 ,  2F065GG07 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065LL59 ,  2F065LL65 ,  2F065MM07 ,  2F065MM14 ,  2F065MM16 ,  2F065MM24 ,  2F065MM28 ,  2F065PP04 ,  2F065PP05 ,  2F065PP11 ,  2F065PP22 ,  2F065PP25 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ32 ,  2F065UU03 ,  2F065UU05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 3次元測定方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-371511   出願人：コニカミノルタセンシング株式会社
• 物体検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-208094   出願人：日本信号株式会社
• 撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-277172   出願人：ソニー株式会社