静電マイクロアクチュエータの駆動方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-183646
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009797
特許番号：特許第3210967号
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】静電マイクロアクチュエータの駆動方法であって、前記静電マイクロアクチュエータは、基板と、基板電極絶縁層と、基板電極と、駆動電極絶縁層と、過冷却液体域を有する非晶質合金からなる螺旋状の駆動電極とがこの順に積層されてなり、前記基板電極と前記駆動電極との間に所定の電圧を印加することにより前記駆動電極を前記基板電極に吸着させて平面形状とし、前記基板電極と前記駆動電極との間の前記印加した所定の電圧を除去することにより前記駆動電極を前記基板電極から開放させて立体形状とし、前記静電マイクロアクチュエータを駆動するようにしたことを特徴とする、静電マイクロアクチュエータの駆動方法。

IPC (3件)：