特許
J-GLOBAL ID：201103012121991251

水素含有非晶質硬質炭素被覆部材及びその製造方法

発明者：
辻 勝啓

辻 勝啓 について


出願人/特許権者：
株式会社リケン

株式会社リケン について


代理人 (1件)： 高石 橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-008923
公開番号（公開出願番号）：特開2011-149035
出願日： 2010年01月19日
公開日（公表日）： 2011年08月04日
要約：
【課題】エンジン部品等の高負荷条件で使用可能な良好な耐摩耗性を備えた水素含有非晶質硬質炭素被覆部材を提供する。また、高負荷条件での使用においても耐摩耗性に優れた水素含有非晶質硬質炭素被覆部材の製造方法を提供する。【解決手段】比較的平滑な表面が得られる水素含有非晶質炭素被膜において、この水素含有非晶質炭素被膜中に同じ非晶質の炭素微粒子を分散して、平滑な表面と被膜全体の硬度を維持したまま耐欠け性を向上させる。具体的には、アーク放電によってアーク式蒸発源の炭素カソードより放出される微粒子を被膜中に取り込むことによって、水素含有非晶質炭素被膜に同じ非晶質の炭素微粒子を分散する。【選択図】図1(a)
請求項（抜粋）：
実質的に炭素及び水素からなる水素含有非晶質炭素被膜中に、平均粒径0.05μm以上0.5μm以下の実質的に炭素及び水素からなる非晶質炭素微粒子が分散した水素含有非晶質硬質炭素被覆部材。
IPC (3件)：
C23C 14/06 ,  C01B 31/02 ,  C23C 30/00
FI (3件)：
C23C14/06 F ,  C01B31/02 101Z ,  C23C30/00 C
Fターム (34件)：
4G146AA01 ,  4G146AA17 ,  4G146AB07 ,  4G146AD02 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BC08 ,  4G146BC17 ,  4G146BC25 ,  4G146BC31A ,  4G146BC31B ,  4K029AA02 ,  4K029AA24 ,  4K029BA07 ,  4K029BA17 ,  4K029BA34 ,  4K029BB07 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029CA04 ,  4K029DD06 ,  4K029FA05 ,  4K030AA06 ,  4K030AA10 ,  4K030AA16 ,  4K030BA37 ,  4K030CA02 ,  4K030FA01 ,  4K030LA23 ,  4K044AA02 ,  4K044BA18 ,  4K044BB11 ,  4K044BC06 ,  4K044CA13
引用特許：
審査官引用 (5件)
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