特許
J-GLOBAL ID：201103012537116694
無機被膜形成用組成物および無機被膜形成方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
曾我 道照
, 曾我 道治
, 古川 秀利
, 鈴木 憲七
, 梶並 順
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194111
公開番号（公開出願番号）：特開2001-019873
特許番号：特許第3912471号
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】水溶性ポリマー、アルカリ可溶性ポリマー、もしくはアルコール可溶性ポリマーである有機高分子化合物
(A)感光剤(ただし硝酸塩は含まない)
(B)粉末、および
(C)硝酸塩
を含んでなり、該硝酸塩は、硝酸の非金属塩、硝酸セリウム、硝酸鉄および硝酸クロムからなる群から選択された少なくとも1種を含むことを特徴とする無機被膜形成用組成物。
IPC (5件)：
C09D 1/00 ( 200 6.01)
, C09D 5/00 ( 200 6.01)
, G03F 7/40 ( 200 6.01)
, H01J 9/227 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
C09D 1/00
, C09D 5/00
, G03F 7/40 501
, G03F 7/40 521
, H01J 9/227 C
, H01J 9/227 D
, H01L 21/30 571
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (15件)
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