パターニング可能な金属酸化物被膜形成用コーティング剤及びパターン形成方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-295179
公開番号（公開出願番号）：特開平7-305030
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【構成】遷移金属アルコキシド(チタニウム等)の加水分解物、金属硝酸塩(アルミニウム等)及び析出防止剤(エチレングリコール等)が有機溶媒に溶解してなることを特徴とする光(紫外線等)によりパターニング可能な金属酸化物被膜形成用コーティング剤に関し、又、前記コーティング剤を基材に塗布、乾燥した後、光を照射し、光未照射部分を水により溶解除去する事を特徴とする金属酸化物のパターン形成方法に関する。【効果】本発明のコーティング剤は、紫外線等の光により、容易に所望部分にのみ、金属酸化物被膜を形成しうる。又、光未照射部の溶解除去が、水で行える為、耐薬品性の無い基材にも適用でき、且つ廃液、環境汚染等の問題が無い。

請求項（抜粋）：