電子衝撃型反跳水素分析器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-018651
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214109
特許番号：特許第3388709号
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】水素を含有する試料の表面に電子ビームを照射することにより前記試料中の含有水素を電子衝撃により反跳させる電子ビーム照射器と、前記試料から放出された水素を検出する水素検出器とを備えたことを特徴とする電子衝撃型反跳水素分析器。

IPC (1件)：