流体の透明度検出装置、流体の透明度検出方法、濾過装置、および、半導体装置の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田敬
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-202675
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014644
特許番号：特許第3883825号
出願日： 2001年07月03日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】気泡が含まれる流体を輸送する第1のパイプと、前記流体が水平方向から垂直上方向に輸送されるように、前記第1のパイプの途中に設けた湾曲部と、前記湾曲部から下方に分岐して、気泡が分離された前記流体を下方に輸送する第2のパイプと、前記第2のパイプの途中に設けられて前記流体の透明度を検出する透明度検出手段と、前記第1のパイプの内部を通過する前記流体の流量を調節する第1のバルブと、前記第2のパイプの内部を通過する前記流体の流量を調節する第2のバルブとを具備することを特徴とする流体の透明度検出装置。

IPC (4件)：

G01N 21/59 ( 200 6.01) , B01D 19/00 ( 200 6.01) , C02F 1/44 ( 200 6.01) , G01N 21/15 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01N 21/59 Z , B01D 19/00 102 , C02F 1/44 E , G01N 21/15 ZAB

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開昭48-100181
流体の被除去物除去方法および流体の被除去物除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-324367 出願人：三洋電機株式会社
特開昭55-152445

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