特許
J-GLOBAL ID：201103016117017483
印刷配線板の製造方法およびレーザ穴あけ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-214391
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044596
特許番号：特許第3641984号
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 絶縁樹脂基板上に導体回路を形成したコア層を作成し、前記コア層に感光性絶縁樹脂層を印刷し露光現像して前記感光性絶縁樹脂層にホトビアを形成し、レーザ光源の光束を、その偏光方向を水平方向あるいは垂直方向から所要角度で回転させ、該光束を第1の格子鏡で反射させ第1の光束を作成し、透過させた第2の光束との2つの光束を作成し、前記第1の光束と前記第2の光束を反射させ集光レンズの方向に向ける反射面の数(第1の格子鏡も該反射面の数に含む)を、前記第1の光束に対する反射面の数と前記第2の光束に対する反射面の数の差が奇数となるようにし、前記レーザ光源の光束の偏光方向を回転させる場合に前記第1の光束と前記第2の光束の偏光方向が反対方向に回転するように反射鏡群を設置し、前記光束の方向を集光レンズに向け、前記両光束それぞれを、第2の格子鏡で反射させた第3の光束と、透過した第4の光束に分割し、前記第3の光束と前記第4の光束を反射させ集光レンズの方向に向ける反射面の数(第2の格子鏡も該反射面の数に含む)を、前記第3の光束に対する反射面の数と前記第4の光束に対する反射面の数の差が奇数となるようにし、レーザ光源の光束の偏光方向を回転させる場合に前記第3の光束と前記第4の光束の偏光方向が反対方向に回転するように反射鏡群を設置し、光束の方向を集光レンズに向け、前記第1の光束を分割した2本の光束と前記第2の光束を分割した2本の光束との、4本の光束を形成し、分割された束同士ではその偏光方向が反対方向に回転する4本の光束群を形成し、前記4本の光束を集光レンズにより前記感光性絶縁樹脂層の集光点に集光し、前記集光点に4本の光束の干渉により電界強度が0の境界で囲まれた微小径のレーザ光スポットを集光点に投影し、前記スポットで前記感光性絶縁樹脂層の表面に穴をあける工程と、前記感光性絶縁樹脂層表面に導体膜を無電解めっきし、該無電解めっき層に電解めっきで導体層を形成し、前記導体層上にフォトレジストを印刷しフォトレジストに回路パターンを露光・現像しエッチングレジスト膜を形成する工程と、該エッチングレジスト膜で保護された導体を残すエッチングを行い回路パターンを形成する工程と、を有することを特徴とする印刷配線板の製造方法。
IPC (3件)：
H05K 3/00
, B23K 26/00
, B23K 26/08
H05K 3/00 N
, B23K 26/00 330
, B23K 26/08 B
