特許
J-GLOBAL ID：201103016170126898
成膜装置及び成膜装置用ストックチャンバー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩田 今日文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-072600
公開番号（公開出願番号）：特開2011-137242
出願日： 2011年03月29日
公開日（公表日）： 2011年07月14日
要約：
【課題】 成膜装置の搬送路に複数の基板ホルダを保管する基板ホルダ保管室を設けることにより、基板ホルダの表面に堆積した膜の除去の工程および基板ホルダの交換工程、または膜の除去の工程若しくは基板ホルダの交換工程に影響を受けることなしに基板の生産を効率的に行うことができる成膜装置及び成膜装置用ストックチャンバーを提供すること。【解決手段】真空状態に連結した複数の真空チャンバー、前記複数の真空チャンバー内に設けられた搬送路、前記搬送路に沿って移動可能に設けた複数の基板ホルダ、前記基板ホルダを移動させる駆動手段、前記搬送路からの基板ホルダの回収、及び/又は前記搬送路への基板ホルダの供給が可能であり、かつ前記複数の真空チャンバーの一つと連結したストックチャンバー、を備え、前記ストックチャンバーは、基板ホルダを回転機構の中心軸の周りに垂直の状態で配置可能な構成とした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
方形型の閉ループ状に連結された複数の真空チャンバーと、
前記複数の真空チャンバー内に設けられている方形型の閉ループ状の搬送路と、
基板ホルダを前記搬送路に供給できるストックチャンバーと、を備え、
方形型の閉ループ状に連結された複数の前記真空チャンバーのうち、角の場所に配置されている前記真空チャンバーは、前記基板ホルダの搬送方向を転換する方向転換機構が設けられた方向転換チャンバーであり、
前記ストックチャンバーは、前記方向転換チャンバーに連結されていることを特徴とする成膜装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C14/56 G
, H01L21/68 A
4K029BD11
, 4K029DA09
, 4K029FA09
, 4K029JA01
, 4K029KA01
, 4K029KA09
, 5F031CA01
, 5F031DA13
, 5F031FA03
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031FA15
, 5F031FA19
, 5F031GA41
, 5F031HA45
, 5F031MA03
, 5F031NA04
, 5F031NA05
, 5F031NA07
, 5F031PA06
, 5F031PA24
