特許
J-GLOBAL ID：201103016404111598
微細パタンの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 宏義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-142207
公開番号（公開出願番号）：特開2010-287829
出願日： 2009年06月15日
公開日（公表日）： 2010年12月24日
要約：
【課題】モールドから離型した後での露光においても転写を行うことができると共に、モールドおよび基板が活性光線に対して透過性でない場合においても転写を行うことができる精度の高い微細パタンの製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の微細パタンの製造方法は、基板上に積層される感光性樹脂層に微細パタンを有するモールド105を押し付けて感光性樹脂層に微細パタンを形成する賦型工程と、感光性樹脂層からモールド105を外す離型工程と、不活性ガス下、感光性樹脂層に活性光線を露光して感光性樹脂層を硬化させる露光工程と、を含む微細パタンの製造方法であって、感光性樹脂層は、少なくともラジカル重合型の感光性樹脂組成物を含有し、20°Cにおける粘度が106Pa・s〜1011Pa・sであることを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板上に積層される感光性樹脂層に微細パタンを有するモールドを押し付けて前記感光性樹脂層に微細パタンを形成する賦型工程と、前記感光性樹脂層から前記モールドを外す離型工程と、不活性ガス下、前記感光性樹脂層に活性光線を露光して前記感光性樹脂層を硬化させる露光工程と、を含む微細パタンの製造方法であって、
前記感光性樹脂層は、少なくともラジカル重合型の感光性樹脂組成物を含有し、20°Cにおける粘度が106Pa・s〜1011Pa・sであることを特徴とする微細パタンの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C59/02 Z
4F209AA43
, 4F209AA44
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209AM25
, 4F209AM30
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC05
, 4F209PN06
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
, 5F046AA28
