特許
J-GLOBAL ID：201103016500047787
パンク検知素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-365023
公開番号（公開出願番号）：特開2001-181052
特許番号：特許第3924412号
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 厚さが0.2mm以下、気孔率が1.5〜10%、且つ室温におけるヤング率が300GPa以下であり、Ce、Sm、NdおよびGdのうちの1種の希土類元素(RE)とMgとを酸化物換算による合量で4〜30モル%含有するとともに、Alの含有量が酸化物換算で1.0モル%以下である窒化珪素質セラミックスからなるダイヤフラム基板の表面に、電極と圧電体と電極との積層体を被着したパンク検知素子。
IPC (4件)：
C04B 35/584 ( 200 6.01)
, C04B 38/00 ( 200 6.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
, G01L 17/00 ( 200 6.01)
C04B 35/58 102 D
, C04B 38/00 303 Z
, H01L 41/08 U
, G01L 17/00 301 Z
