特許
J-GLOBAL ID：200903006031493980
窒化珪素質放熱部材及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-352949
公開番号（公開出願番号）：特開平11-180774
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：
【要約】【課題】1800°C以下の常圧下で焼成可能であって、且つ高熱伝導性を有する低コストの窒化珪素質放熱部材とその製造方法を提供する。【解決手段】窒化珪素(Si3 N4 )を70〜95モル%と、希土類金属(RE)およびMgを酸化物換算による合量で4〜30モル%と、Alを酸化物換算で0〜1.0モル%とからなり、前記希土類金属およびMgの酸化物換算によるモル比(RE2 O3 /MgO)が0.1〜15である成形体を常圧の非酸化性雰囲気中、1800°C以下の温度で焼成して相対密度90%以上に緻密化して、熱伝導率30W/m・K以上、強度600MPa以上の放熱部材を得る。
請求項（抜粋）：
窒化珪素を70〜95モル%と、希土類金属(RE)およびMgを酸化物換算による合量で4〜30モル%と、前記希土類金属およびMgの酸化物換算によるモル比(RE2 O3 /MgO)が0.1〜15であり、且つAlを酸化物換算で1.0モル%以下とからなり、相対密度90%以上、熱伝導率30W/m・K以上であることを特徴とする窒化珪素質放熱部材。
IPC (2件)：
C04B 35/584
, H01L 23/373
C04B 35/58 102 D
, H01L 23/36 M
