特許
J-GLOBAL ID：200903072602764709
窒化珪素質放熱部材及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-116964
公開番号（公開出願番号）：特開平11-310464
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】1800°C以下の常圧下で焼成可能であって、且つ高熱伝導性を有する低コストの窒化珪素質放熱部材とその製造方法を得る。【解決手段】窒化珪素(Si3 N4 )70〜95モル%と、希土類元素金属(RE)及びMgを酸化物換算による合量で4〜30モル%と、前記希土類元素(RE)とMgをRE2 O3 、MgO換算によるRE2 O3 /MgOで表されるモル比が0.1〜15となる比率で含むとともに、Alの酸化物換算による含有量が1.0モル%以下の成形体を非酸化性雰囲気中、1650〜1800°Cの温度で焼成した後、1100〜1600°Cの温度範囲で1時間以上熱処理を施し、相対密度90%以上、焼肌面の表面粗さ(Rmax)が10μm以下でかつ前記粒界相にMgSiO3 あるいはMgSiN2 からなる結晶相を含有する熱伝導率が50W/m・K以上であることを特徴とする窒化珪素質放熱部材を得る。
請求項（抜粋）：
窒化珪素からなる主結晶相と、少なくとも希土類元素、MgおよびSiを含む粒界相からなる焼結体からなり、前記粒界相にMgSiO3 あるいはMgSiN2 からなる結晶相を含有するとともにAlの酸化物換算による含有量が1.0モル%以下、相対密度90%以上、焼肌面の表面粗さ(Rmax)が10μm以下、熱伝導率が50W/m・K以上であることを特徴とする窒化珪素質放熱部材。
FI (2件)：
C04B 35/58 102 C
, C04B 35/58 102 Y
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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