面発光型レーザアレイ及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲垣清
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-102493
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294873
特許番号：特許第3422413号
出願日： 1999年04月09日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】発振波長が相互に異なる複数の垂直共振器型面発光レーザを有する面発光型レーザアレイにおいて、各垂直共振器型面発光レーザが夫々、一対の分散ブラッグ共振反射層及び該一対の分散ブラッグ共振反射層に垂直方向に挟まれた中間層を有し、前記分散ブラッグ共振反射層又は前記中間層は、層内に複数の波長調整層を同数含んでおり、前記垂直共振器型面発光レーザの側面は酸化された前記波長調整層が露出しており、かつ、前記露出した波長調整層の数が前記垂直共振器型面発光レーザにより異なることを特徴とする面発光型レーザアレイ。

IPC (1件)：