特許
J-GLOBAL ID:201103016572609968
熱物性解析装置及び熱物性解析方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (3件):
小谷 悦司
, 小谷 昌崇
, 村松 敏郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-155124
公開番号(公開出願番号):特開2011-012991
出願日: 2009年06月30日
公開日(公表日): 2011年01月20日
要約:
【課題】被測定物の同一面に加熱光及び検出光を照射して当該試料の熱物性を解析しても、検出光の反射光強度の測定において加熱光の反射光の影響を受け難い熱物性解析装置及び熱物性解析方法を提供することを課題とする。【解決手段】本発明では、検出光B2を測定部位11aで焦点を結ぶように集光させて照射すると共に加熱光B1を当該測定部位11aに照射し、この測定部位11aからの反射検出光B2aを測定部位11aとは異なる測定位置まで導光し、この測定位置に導光された反射検出光B2aの強度を測定する。前記加熱光B1の照射は、測定部位11aにおいて加熱光B1が焦点を結ぶように照射する場合に比べ、測定位置に到達する反射加熱光B1aの強度が小さくなるように測定部位11aにおいて焦点をぼかし且つその照射範囲sに検出光B2の照射範囲が含まれるように加熱光B1を集光するように照射する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
被測定物表面の測定部位に光を照射し、その反射光に基づいて前記被測定物の熱物性についての解析を行う熱物性解析装置であって、
前記測定部位を加熱するための加熱光を放射する加熱光放射手段と、
前記加熱光を前記測定部位まで導光する第1の光学系と、
前記測定部位の温度変化を検出するための検出光を放射する検出光放射手段と、
前記検出光を前記測定部位まで導光する第2の光学系と、
前記測定部位からの前記検出光の反射光を受光する受光部を有し、この受光部に入射した前記検出光の反射光の強度を測定する検出光測定手段と、
前記測定部位からの前記検出光の反射光を前記検出光測定手段の受光部まで導光する第3の光学系とを備え、
前記第2の光学系が、前記測定部位で焦点を結ぶように前記検出光を集光する検出光用集光部材を有すると共に、前記第1の光学系が、前記測定部位において前記加熱光が焦点を結ぶように集光する場合に比べ前記第3の光学系に導光されて前記受光部に到達する加熱光の反射光の強度が小さくなるように前記測定部位において焦点をぼかし且つその照射範囲に前記検出光の照射範囲が含まれるように加熱光を集光する加熱用集光部材を有することを特徴とする熱物性解析装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (8件):
2G040AA02
, 2G040AB09
, 2G040BA25
, 2G040CA02
, 2G040CA12
, 2G040CA23
, 2G040DA12
, 2G040EA06
引用特許: