特許
J-GLOBAL ID：201103017519272397
積層型ガスセンサ素子、積層型ガスセンサ素子を備えたガスセンサ、及び、積層型ガスセンサ素子の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-204180
公開番号（公開出願番号）：特開2011-053158
出願日： 2009年09月04日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：
【課題】被水によるガスセンサ素子におけるクラックの発生をさらに抑制することのできる技術を提供する。【解決手段】積層型ガスセンサ素子は、固体電解質体上に一対の電極を備える検出素子と、抵抗発熱体を内部に有するヒータ素子と、を積層する構成を有している。積層型ガスセンサ素子のうち、少なくとも測定対象気体に晒されることになる先端部には多孔質保護層が形成されている。多孔質保護層の表面には、50μm×50μmの領域内に、直径が1μm以上5μm以下で、且つアスペクト比が0.5以上2.0以下である小孔が、10個以上存在すると共に、100μm×100μmの領域内に、直径が8μm以上20μm以下で、且つアスペクト比が0.5以上2.0以下である大孔が、1個以上20個未満存在する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
固体電解質体上に一対の電極を備える検出素子と、
発熱抵抗体を内部に有するヒータ素子と、
を積層することによって構成された測定対象気体中の特定ガスを検出する積層型ガスセンサ素子であって、
前記積層型ガスセンサ素子のうち、少なくとも前記測定対象気体に晒されることになる先端部には多孔質保護層が形成されており、
前記多孔質保護層の表面には、
50μm×50μmの領域内に、直径が1μm以上5μm以下で、且つアスペクト比が0.5以上2.0以下である小孔が、10個以上存在すると共に、
100μm×100μmの領域内に、直径が8μm以上20μm以下で、且つアスペクト比が0.5以上2.0以下である大孔が、1個以上20個未満存在することを特徴とする、積層型ガスセンサ素子。
IPC (2件)：
G01N 27/409
, G01N 27/419
G01N27/58 B
, G01N27/46 327J
2G004BB04
, 2G004BC02
, 2G004BC07
, 2G004BF04
, 2G004BF09
, 2G004BF19
, 2G004BF27
, 2G004BG05
, 2G004BH06
, 2G004BJ03
, 2G004BM07
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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