特許
J-GLOBAL ID：201103017995788253
転写装置および転写方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-234278
公開番号（公開出願番号）：特開2011-079249
出願日： 2009年10月08日
公開日（公表日）： 2011年04月21日
要約：
【課題】型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するための転写装置において、効率の良い転写をする。【解決手段】被成型品Wを保持する被成型品保持体3と、型Mを保持し被成型品保持体3に対して移動する型保持体5と、型保持体5を駆動する駆動手段9と、型保持体5の位置を検出する位置検出手段11と、型Mで被成型品Wを押すときの押圧力を検出する押圧力検出センサ13と、駆動手段9で型保持体5を移動し、押圧力検出センサ13で検出した押圧力が所定の値F2に達したときに、位置検出手段11で検出した位置を記憶部23に記憶する制御をする制御手段15とを有する転写装置1である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するための転写装置において、
前記被成型品を保持する被成型品保持体と;
前記型を保持し、前記被成型品保持体に対して接近もしくは離反する方向で相対的に移動する型保持体と;
前記型保持体が前記相対的な移動をするように前記型保持体を駆動する駆動手段と;
前記被成型品保持体に対する前記型保持体の相対的な位置を検出する位置検出手段と;
前記型保持体に保持されている型で前記被成型品保持体に保持されている被成型品を押すときの押圧力を検出する押圧力検出センサと;
前記駆動手段で前記型保持体を相対的に移動し、前記押圧力検出センサで検出した押圧力が増加し始めたときに、もしくは、前記押圧力検出センサで検出した押圧力が所定の値に達したときに、前記位置検出手段で検出した相対的な位置を記憶部に記憶する制御をする制御手段と;
を有することを特徴とする転写装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B29C59/02 Z
, H01L21/30 502D
4F209AD08
, 4F209AF01
, 4F209AG01
, 4F209AG05
, 4F209AR01
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN06
, 4F209PN13
, 4F209PQ11
, 5F046AA28
, 5F146AA28
