特許
J-GLOBAL ID：200903096439064016

転写装置および転写方法

発明者：
鐘本 政和

鐘本 政和 について

, 
馬場 丘人

馬場 丘人 について

, 
藤原 茂

藤原 茂 について


出願人/特許権者：
東芝機械株式会社

東芝機械株式会社 について


代理人 (7件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  中村 友之 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-321688
公開番号（公開出願番号）：特開2008-132711
出願日： 2006年11月29日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
要約：
【課題】型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置において、精度のよい転写を行うことができる転写装置を提供する。【解決手段】微細な転写パターンが形成されている型Mを保持する型保持体5と、被成型品Wを保持する被成型品保持体7とを備え、被成型品保持体7に対して保持体5を移動し、被成型品Wに転写する転写装置1であって、被成型品保持体7に取り付けた変位センサー17によって、型保持体5と被成型品保持体7との間の距離を計測する計測手段を有し、この計測手段での計測結果に応じて、型保持体5と被成型品保持体7との間の距離を補正し、転写を行うように構成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ベースフレームと; 前記ベースフレームに設けられ、被成型品を保持する被成型品保持体と; 前記被成型品保持体に対して接近もしくは離反する方向で移動するように前記ベースフレームに設けられ、微細な転写パターンが形成されている型を保持する型保持体と; 前記型保持体を移動するための駆動手段と; 前記型保持体の移動ストロークの全長にわたって、前記型保持体と前記被成型品保持体との間の距離を計測する第1の計測手段と; 前記型保持体、前記被成型品保持体の少なくともいずれかに取り付けた変位センサーによって、前記被成型品保持体に前記型保持体が近づいたときにのみ前記型保持体と前記被成型品保持体との間の距離を計測する第2の計測手段と; 前記型保持体で保持されている型と前記被成型品保持体で保持されている被成型品とがお互いに離れている状態から、前記駆動手段で前記型保持体を前記被成型品保持体に近づけ、前記第1の計測手段で前記型と前記被成型品とがお互いに接触する位置に達したことが計測されたときに、または、前記型保持体で保持されている型と前記被成型品保持体で保持されている被成型品とがお互いに離れている状態から、前記駆動手段で前記型保持体を前記被成型品保持体に近づけ、前記第1の計測手段で前記型保持体と前記被成型品保持体との間の距離が前記第2の計測手段で計測可能な範囲に入ったことが計測されたときに、前記型保持体と前記被成型品保持体との間の距離を前記第2の計測手段で計測しつつ前記駆動手段で前記型保持体をさらに移動し、前記第2の計測手段で前記型と前記被成型品との間の距離が前記型で前記被成型品に転写を行うときの目標値に達したことが検出されたときに、前記型保持体の移動を止めてその位置を保持するように前記駆動手段を制御する制御手段と; を有することを特徴とする転写装置。
IPC (4件)：
B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  B41K 3/04 ,  B81C 5/00
FI (6件)：
B29C59/02 Z ,  H01L21/30 502D ,  B41K3/04 Z ,  B41K3/04 A ,  B81C5/00 ,  B29C59/02 B
Fターム (14件)：
4F209AD08 ,  4F209AG05 ,  4F209AP06 ,  4F209AQ00 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  4F209PQ20 ,  5F046AA28 ,  5F046CC01 ,  5F046DB04
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (1件)
  • 成形方法および装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-375338   出願人：株式会社神戸製鋼所

前のページに戻る

TOP

BOTTOM