特許
J-GLOBAL ID：201103018787162932

音響センサ

発明者：
笠井 隆

笠井 隆 について


出願人/特許権者：
オムロン株式会社

オムロン株式会社 について


代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-110946
公開番号（公開出願番号）：特開2011-239324
出願日： 2010年05月13日
公開日（公表日）： 2011年11月24日
要約：
【課題】ダイアフラムのスティックを防止することができ、しかも、センサ落下時の衝撃によってダイアフラムが破損しにくい音響センサを提供する。【解決手段】音圧に感応するダイアフラム33が、プレート部39と固定電極膜40からなるバックプレート34に対向し、静電容量型の音響センサ31を構成する。バックプレート34には、振動を通過させるためのアコースティックホール38が開口し、またダイアフラム33と対向する面には複数のストッパ42a、42bが突設している。バックプレート34の外周エリアに設けたストッパ42bは直径が小さく、内部エリアに設けたストッパ42aは直径が大きくなっている。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
半導体基板の上方に配設された固定膜と前記固定膜に設けた固定電極膜からなるバックプレート、および、 前記バックプレートと空隙を介して対向するようにして、前記半導体基板の上方に配設された振動電極膜を備え、 音響振動を前記振動電極膜と前記固定電極膜の間の静電容量の変化に変換する音響センサにおいて、 前記バックプレート又は前記振動電極膜の少なくとも一方の前記空隙側の面に複数の突起を設け、 前記バックプレート又は前記振動電極膜の少なくとも一方における突起形成領域に応じて前記突起の断面積を異ならせたことを特徴とする音響センサ。
IPC (3件)：
H04R 19/04 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00
FI (3件)：
H04R19/04 ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00
Fターム (25件)：
3C081AA02 ,  3C081AA07 ,  3C081BA03 ,  3C081BA45 ,  3C081BA48 ,  3C081BA52 ,  3C081EA01 ,  4M112AA06 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA11 ,  4M112CA13 ,  4M112CA15 ,  4M112CA16 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112FA07 ,  4M112FA20 ,  5D021CC06 ,  5D021CC10 ,  5D021CC18
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM