特許
J-GLOBAL ID：201103019214077716
インクジェット式記録ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-037674
公開番号（公開出願番号）：特開2002-240297
特許番号：特許第3661775号
出願日： 2001年02月14日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ノズル開口に連通する圧力発生室が画成されるシリコン単結晶基板からなる流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して成膜及びリソグラフィ法により形成された薄膜からなる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を有するインクジェット式記録ヘッドの製造方法において、 前記流路形成基板の一方面に、前記圧力発生室の形成される領域の幅方向両側に、長手方向に亘って溝部を形成する工程と、該溝部内に前記流路形成基板のエッチングを規制するエッチングストップ層を形成する工程と、前記流路形成基板の一方面に前記振動板を介して前記下電極、圧電体層及び上電極を順次積層及びパターニングして前記圧電素子を形成する工程と、前記流路形成基板の少なくとも前記振動板側を異方性ドライエッチングにより前記エッチングストップ層が露出するまで除去して前記圧力発生室を形成する工程とを有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
