特許
J-GLOBAL ID：200903045264685990

インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法

発明者：
橋爪 勉

橋爪 勉 について

, 
高橋 哲司

高橋 哲司 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-291285
公開番号（公開出願番号）：特開平10-286960
出願日： 1997年10月23日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 信頼性が高い圧電体素子を備え、インクを高速で大量に吐出するインクヘッド式記録ヘッド及びその製造方法を提供する。また、信頼性が高い圧電体素子を備え、微少量のインクを高速に吐出するインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法を提供する。また、ノズル板の形成を容易に行え、大量生産が可能なインクヘッド式記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】 単結晶シリコン基板1上に形成されたPZT膜4と、単結晶シリコン基板1のPZT膜4に対応する位置に形成したインクキャビティ20と、単結晶シリコン基板1のPZT膜4の反対側の面に設けたノズル板10とを備え、インクキャビティ20のPZT膜4に近い部分を異方性ドライエッチングにより形成した。
請求項（抜粋）：
単結晶シリコン基板の第1の面に形成された圧電体素子と、前記単結晶シリコン基板の前記圧電体素子と対応する位置に形成されたインクキャビティと、前記単結晶シリコン基板の第1の面の反対側に位置する第2の面に設けられ、かつ前記インクキャビティ内に収容されたインクを吐出するノズル開口が形成されたノズル板と、を備えたインクジェット式記録ヘッドであって、前記インクキャビティは、前記第2の面から第1の面の近傍までが異方性ウエットエッチングにより形成され、前記第1の面の近傍から第1の面までが異方性ドライエッチングにより形成されてなるインクジェット式記録ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件)：
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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