スパッタリング装置のマグネトロンカソード

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：岩田今日文 , 瀬戸さより
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323033
公開番号（公開出願番号）：特開2001-140069
特許番号：特許第4592852号
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ターゲットの裏面に、中心磁石の周りを該中心磁石と逆極性の外周磁石が取り囲むように配置された矩形状の磁石ユニットをその長手方向に垂直な方向に複数個並べて、該垂直な方向に往復運動させるスパッタリング装置のマグネトロンカソードにおいて、往復運動する方向の両端に位置する前記磁石ユニットのさらに外側に、外周磁石と同極性の棒状磁石が配置されることを特徴とするマグネトロンカソード。

IPC (2件)：