特許
J-GLOBAL ID：201103020417532182

高精度移動機構

発明者：
日高 和彦

日高 和彦 について

, 
岡本 清和

岡本 清和 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (4件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所 ,  木下 實三 ,  中山 寛二 ,  石崎 剛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-129474
公開番号（公開出願番号）：特開2002-323312
特許番号：特許第4689869号
出願日： 2001年04月26日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被検体の表面形状を追従する形状追跡センサと、この形状追跡センサの検出信号を処理する信号処理回路及び前記形状追跡センサの駆動を制御する制御回路により前記被検体の表面形状に応じて前記形状追跡センサを前記被検体の表面高さ方向へ高速微細に微小変位させる微動機構と、この微動機構を変位させる可動部及びこの可動部を支持する固定部を有する粗動機構と、前記可動部に前記微動機構を支持する微動機構支持部とを備え、前記制御回路は前記微小変位がその基準値より所定値を超えたとき前記微小変位を前記指定値以内に収めるように前記粗動機構を駆動し、前記形状追跡センサの前記固定部に対する前記相対移動が前記粗動機構と前記微動機構の和になるように構成された高精度移動機構であって、 前記微動機構支持部は、前記微動機構の伸縮方向の両端にそれぞれ当接する第1リンク部及び第2リンク部と、これらの第1リンク部及び第2リンク部の端部同士を接続する第3リンク部及び第4リンク部とを有し、前記微動機構の変位発生方向に伸縮可能とされるとともに前記微動機構の変位発生方向の両端を予圧する伸縮部材を備え、かつ、前記微小変位発生により生じる前記両端への作用力が前記可動部の支持部へ伝達されないで相殺されるように前記第3リンク部と前記第4リンク部との中心部がそれぞれ前記可動部の支持部に支持固定され、前記第1リンク部には前記形状追跡センサが取り付けられることを特徴とする高精度移動機構。
IPC (1件)：
G01B 5/012 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G01B 5/012
引用特許：
審査官引用 (7件)
  • 特開平4-132904
  • 特開平2-196479
  • 密封式超精密微動装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-037171   出願人：秩父小野田株式会社
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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