特許
J-GLOBAL ID:201103020527914633

基板収納容器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 坂本 智弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-096713
公開番号(公開出願番号):特開2011-228469
出願日: 2010年04月20日
公開日(公表日): 2011年11月10日
要約:
【課題】ボトムプレートをシェルに取り付けたとき、あるいは、ボトムプレートをシェルから取り外したときに、確実な稼働を達成でき、途中で止まることのないリテーナ機構を備えた基板収納容器を提供する。【解決手段】ボトムプレートと、ボトムプレートに載置され基板を並設配置させるカセットと、カセットを被ってボトムプレートに係合されるシェルと、シェルの内壁に取り付けられるリテーナ機構とを備えて構成される。リテーナ機構は、互いに傾斜面で当接して配置されたスライドパーツとリテーナとを備えて構成される。スライドパーツがボトムプレートから離れる方向へ移動でき、この際に、リテーナは前記傾斜面から力を受けカセットに近接する方向へ移動できるように構成されている。リテーナには、カセットに配置された各基板に接触し各基板を保持する基板保持部を備える。【選択図】図9
請求項(抜粋):
ボトムプレートと、前記ボトムプレートに載置され基板を並設配置させるカセットと、前記カセットを被って前記ボトムプレートに係合されるシェルと、前記シェルの内壁に取り付けられるリテーナ機構とを備え、 前記リテーナ機構は、互いに傾斜面で当接して配置されたスライドパーツとリテーナとを備え、 前記スライドパーツが前記ボトムプレートから離れる方向へ移動でき、この際に、前記リテーナは前記傾斜面から力を受け前記カセットに近接する方向へ移動できるように構成され、 前記リテーナには、前記カセットに配置された前記各基板に接触し前記各基板を保持する基板保持部を備えることを特徴とする基板収納容器。
IPC (2件):
H01L 21/673 ,  B65D 85/86
FI (2件):
H01L21/68 T ,  B65D85/38 R
Fターム (25件):
3E096AA06 ,  3E096BA15 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA05 ,  3E096CB01 ,  3E096DA17 ,  3E096DA23 ,  3E096DA30 ,  3E096DB02 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096EA07Y ,  3E096FA31 ,  3E096FA40 ,  3E096GA03 ,  3E096GA04 ,  5F031CA02 ,  5F031DA09 ,  5F031EA10 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031EA20 ,  5F031NA02
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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