小角散乱測定用のX線光学装置と多層膜ミラー

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本寿武
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-109081
公開番号（公開出願番号）：特開2001-356197
特許番号：特許第3759421号
出願日： 2001年04月06日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】反射X線の広がり角がδの多層膜ミラーと、X線を放射するX線源とを含み、多層膜ミラーが少なくとも次の(イ)乃至(ハ)の条件を備えた小角散乱用X線光学装置。 (イ) 反射面が、2つの焦点A,Bをもつ楕円面に形成されている。 (ロ) 反射面の中心位置から焦点Bまでの距離は、焦点AにX線源を配置して反射面にX線を照射したとき、焦点BにおけるX線の収束角θcが前記広がり角δのほぼ2倍となるように設定されている。 (ハ)前記広がり角δは、当該多層膜ミラーのロッキングカーブの半価幅である。

IPC (3件)：