紫外用合成石英ガラスの製造方法とそれにより得られた部材

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-088488
公開番号（公開出願番号）：特開2000-281366
特許番号：特許第4320829号
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】バーナから有機ケイ素化合物を噴出させ、酸素及び水素を含む酸化性火炎中で加水分解あるいは酸化反応させてガラス微粒子を得、該ガラス微粒子をバーナと相対する耐熱性のターゲットに堆積させると同時に溶融して塩素が実質的に含有されていない石英ガラスを得る合成工程と、前記塩素が含有されていない合成石英ガラスを水素を含有する雰囲気で熱処理する熱処理工程とを含み、前記酸化性火炎が、全体の酸素ガス量と全体の水素ガス量との比率が0.53以上の酸化性火炎であることを特徴とする、紫外用合成石英ガラスの製造方法。

IPC (2件)：