特許
J-GLOBAL ID：201103022145119631

検査装置

発明者：
鈴木 保之

鈴木 保之 について

, 
宮下 丈人

宮下 丈人 について

, 
坂下 努

坂下 努 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (3件)： 小池 晃 ,  田村 榮一 ,  伊賀 誠司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-341378
公開番号（公開出願番号）：特開2001-160574
特許番号：特許第4135283号
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検査物が設置されるステージと、 上記ステージを支持する支持台と、 上記被検査物に対して紫外光を出射する紫外光出射手段と、 上記紫外光出射手段から出射された紫外光を上記ステージ上に設置された被検査物に照射し、この被検査物からの反射光を検出する光学ユニットと、 上記紫外光出射手段を上記支持台の内部から外部へと引き出すレール機構とを備え、 上記紫外光出射手段は、上記支持台の内部に引出自在に配設され、振動防止手段を介して上記レール機構上に設置されている検査装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01) ,  G01B 11/30 ( 200 6.01) ,  G01N 21/956 ( 200 6.01) ,  G02B 21/16 ( 200 6.01) ,  G02B 21/32 ( 200 6.01)
FI (5件)：
H01L 21/66 J ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A ,  G02B 21/16 ,  G02B 21/32
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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