特許
J-GLOBAL ID：200903025593537658
光変調器、表示装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲葉 良幸
, 田中 克郎
, 大賀 眞司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-008766
公開番号（公開出願番号）：特開2004-219843
出願日： 2003年01月16日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：
【課題】耐久性、発色性が良好で、かつ、簡略な工程で製造し得る光変調器、表示装置、及び、これらの製造方法を提供する。【解決手段】静電力の付与によって揺動する可動反射膜(101)を有する第1の基板(1)と、第1の基板に対向して配置され、可動反射膜(101)に対応する位置に静電力を付与する透明電極(203)を形成した光を透過する第2の基板(2)と、第1の基板及び第2の基板によって画定されて可動反射膜の揺動範囲を制限する空洞部(204)とを備える。基板の一部によって可動反射膜を形成し、基板間の空隙によって可動反射膜の揺動範囲を決めることにより、高耐久性、高精度の光変調器が得られる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
静電力の付与によって揺動する可動反射膜を有する第1の基板と、
前記第1の基板に対向して配置され、前記可動反射膜に対応する位置に前記静電力を付与する透明電極を形成した光を透過する第2の基板と、
前記第1の基板及び第2の基板によって画定されて前記可動反射膜の揺動範囲を制限する空洞部と、
を備える光変調器。
IPC (3件)：
G02B26/00
, B81B3/00
, B81C1/00
G02B26/00
, B81B3/00
, B81C1/00
2H041AA05
, 2H041AA21
, 2H041AB00
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
